题名:	薄膜工艺 / 《薄膜工艺》编译组译 ,
语种:	chi
载体形态:	509页 19厘米
出版发行:	出版地：北京出版社：科学出版社出版日期： 1972
中图分类法:	TN451 版次： 4版
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主要团体责任者:	《薄膜工艺》编译组译