题名:	集成电路工艺与设备 / 北京半导体器件二厂资料室译 ,
ISBN:	价格： CNY0.80
语种:	chi
载体形态:	395页有图 16cm
出版发行:	出版地：北京出版社：科学出版社出版日期： 1972
主题词:	集成电路工艺
中图分类法:	TN405 版次： 5